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采购公示

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北航集成电路科学与工程学院激光共聚焦显微镜采购公告

发布日期:2024-09-18   点击量:

1.   (1)采购货物有关信息

设备或材料名称:激光共聚焦显微镜

参数:1)放大倍率

110X-17280X倍率观察

X/Y分辨率不大于0.12μm,Z轴显示分辨率不大于0.5nm,

内置光学变倍系统:1-8倍;

2)光源

双光路双光源设计,具有激光以及LED光源

激光光源:不高于405nm半导体激光,安全等级 CLASS 2,功率:不高于1毫瓦;有效寿命不小于10000小时;

可见光光源:LED发光二极管照明方式,有效寿命不小于30000小时;

3)激光扫描共聚焦系统

Z轴需采用控制物镜转盘扫描系统,利用不大于0.8nm光栅尺控制,移动精度不大于10nm,Z轴最大扫描行程不小于35mm;

X轴采用独特设计MEMS扫描器件

Y轴:采用Galvanometer 扫描镜控制

4)测量重复精度

1)XY方向:测量值的不大于±1.5%;

2)Z方向: 不大于0.2 + L/100 μm (L=测量长度μm)

5)数据采集

激光光源:不大于405nm半导体激光

检出系统:光电倍增管(Photo multiplier)

白光:白色LED

检出系统:CMOS相机

该显微镜所设定的当次扫描工作结束后,按照使用者预设定的目录自动存储默认格式的数据包(单视场约4M大小),该数据可由改显微镜操作及分析软件进行数据测量及分析,并可按照通用图像格式导出保存图像;

6)载物台

电动载物台(X/Y):不小于300x300 mm;

使用自动载物台,可进行多视场三维图像拼合扫描,而后合成同一数据,拼图最多不少于2500张图片,该数据同样可进行数据测量,分析

7)软件功能

1)可手动/自动设定扫描范围,实时3D图像观察,三维角度任意方向旋转、放大,三维图像实时剖面分析等

2)亚微米级的线宽,面积,体积,台阶,线与面粗糙度,透明膜厚,几何参数等测量数据。

3)三维图像的光线调整,光照效果、品质及强度调解,网格、等高线、真实表面等显示方法,两维图像的反差、亮度调解等功能;

4)简单分析:可仅在指定测量范围内测量台阶、线宽、表面粗糙度和体积。

5)智能判别功能:自动检测数据和噪音,从而实现准确的形状测量。

6)“一键”拍摄功能,只一个按键即可自动设置光强和扫描上下限,拍摄照片

8)物镜参数

其中5X,10X,20×,50×,100×需为特制激光共聚焦专用复消色差物镜,并带有专用物镜标识。

5×物镜数值孔径≥0.15, 工作距离≥20mm

10×物镜数值孔径≥0.3, 工作距离≥10.4mm

20×物镜数值孔径≥0.6, 工作距离≥1mm

50×物镜数值孔径≥0.6,工作距离≥5mm

100×物镜数值孔径≥0.95,工作距离≥0.35mm

9)物镜转盘

6孔电动控制物镜转换器,物镜可同时安装使用;物镜切换时能自动调整高度; 物镜切换时保持自动聚焦;

10)需带出厂测量报告或者第三方检测报告等;

数量:1

交货期:收到预付款后3个月内

交货地点:北航智能微纳公共创新中心

是否接受进口产品:

2、采购预算(最高限价):99

3、参选单位资格要求:

1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;  

    ① 具有独立承担民事责任的能力;

    ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

    ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

    ④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;

    ⑤ 参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录;  

    ⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。  

3)本项目不接受联合体响应;

4)本项目不允许转包、分包;

5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

4、报名方式及截止时间:

报名方式:按照以下要求准备报名信息发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn

邮件标题:公司名称+采购项目名称;

邮件内容:需注明公司名称,地址,销售人员全名及联系方式;

附件:法人证书扫描件,法人授权书扫描件(含法人及销售人员身份证扫描件),采购需求中列出的相应资质证明,整理为同一个PDF文件发送。不符合要求者不予接收;

截止报名时间2024 9 2117时。

5、竞价会时间及方式:

时间2024923日;方式:采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。

6、参加竞价会所需提供材料:

922日前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章,报价单请单独密封)邮寄至以下地址:

地址:北京市海淀区北京航空航天大学北区第一馆

雷老师收,电话18801393236

7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):

雷老师,邮箱:leileiearth@163.com

8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):

邵老师,bhsme@buaa.edu.cn010-82316712(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)

窗体底端



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