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采购公示

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北航集成电路科学与工程学院真空退火系统采购公告

发布日期:2024-11-07   点击量:

1. 货物采购有关信息

序号

货物/服务名称

详细参数要求

数量

1

真空退火系统

腔体极限真空度:5X10-7mbar,配备调压蝶阀,自动控制,能够实时调节腔体气压;

配备一路流量计,可以实现气体种类切换;

适用样品尺寸:4inch,样品台可加偏压实现刻蚀清洗;

加热方式:PBN加热,可在氧气氛围内加热,最高温度:1000℃;

温度精度:±1℃,PLC自动控制;

真空获得系统采用分子泵与机械泵设计;

配全量程真空计与阀门互联;

配备附属氮气柜和超声波清洗机。

1


2、采购预算(最高限价):37

3、参选单位资格要求:

1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;  

    ① 具有独立承担民事责任的能力;

    ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

    ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

    ④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;

    ⑤ 参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录;  

    ⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。  

3)本项目不接受联合体响应;

4)本项目不允许转包、分包;

5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

4、报名方式及截止时间:

报名方式:按照以下要求准备报名信息发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn

邮件标题:公司名称+采购项目名称;

邮件内容:需注明公司名称,地址,销售人员全名及联系方式;

附件:法人证书扫描件,法人授权书扫描件(含法人及销售人员身份证扫描件),采购需求中列出的相应资质证明,整理为同一个PDF文件发送。不符合要求者不予接收;

截止报名时间202411 11 18 时。

5、竞价会时间及方式:

时间2024 1112 日;方式:采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。

6、参加竞价会所需提供材料:

1111日前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章,报价单请单独密封)邮寄至以下地址:

地址:北京市海淀区学院路37号北区第一馆

老师收,手机号:18610088692

7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):

程厚义 老师,邮箱:hycheng@buaa.edu.cn

8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):

邵老师,bhsme@buaa.edu.cn010-82316712(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)


版权所有© 北京航空航天大学集成电路科学与工程学院 地址:北京市海淀区学院路37号  邮编:100191

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