2025年8月21日，教育部高等教育司发布《关于第三批国家级一流本科课程认定结果的公示》，我院申报的虚拟仿真实验课程《集成电路超高精度薄膜溅射装备探索与设计虚拟仿真实验》成功入选国家级虚拟仿真实验一流本科课程，这是我院在国家级一流本科课程建设上取得的重要成果。
《集成电路超高精度薄膜溅射装备探索与设计虚拟仿真实验》由北京航空航天大学副校长赵巍胜教授领衔主讲，张慧副教授、柳洋讲师、王新河副教授和郑翔宇助理教授作为主要成员参与建设。课程面向集成电路关键装备国产化，对超高精度薄膜溅射装备研制全过程进行仿真再现，根据不同真空度要求设计组装真空系统，重点掌握溅射镀膜原理，深入探究超高精度薄膜沉积工艺参数，通过装备构造认知、装备搭建、运行和维护全流程的交互操作，完成高精度薄膜溅射系统的自主探索与设计，培养学生运用所学专业知识分析解决复杂工程技术问题的实践能力和创新思维。
递进式能力培养实验设计：依托团队在超高精度薄膜溅射系统研发的经验，课程将科研成果转化为教学内容，构建“核心组件认知→整机搭建运行→故障诊断处置→自主综合设计”的全流程实操训练平台。实验从零部件到整机、从装备运行到工艺优化，环环相扣、循序渐进，学生能够深入理解不同溅射参数对薄膜质量的影响，并提出工艺优化方案，培养综合能力与高阶思维。
融合式创新教学方法：针对实验内容复杂与抽象的特点，课程采用“理论知识教学+虚拟实物仿真+工程实践操作”的三位一体教学模式，结合任务解锁、规律延拓、问题探究等方法，将复杂工程问题化整为零、循序引导学生掌握真空技术、溅射原理及工艺流程。在虚拟与真实环境中提供自主设计与规律探究空间，突出“认知-比较-设计-探究”的教学特色，全面提升操作技能与创新能力。
多维度达成度评价体系：课程设计了“操作性考核+尝试性考核+探究性考核”的多维度评价体系，涵盖知识、过程与能力评价。通过客观考核操作步骤与知识水平，结合主观考核学生尝试迭代与优化的过程，适配不同知识背景与学习能力，突出过程性、能力性和创新性考核。通过操作步骤与知识水平的客观考核，结合尝试迭代与优化趋势的主观考核，适配不同知识背景与学习能力的学生，综合考察实验迭代、准确性趋势与创新性成果，突出过程性与能力性考核。
近年来，集成电路学院依托“虚拟仿真实验教学2.0——体系化、标准化、装备化”理念，建设了“集成电路工艺与装备虚拟仿真创新实践平台”，并开发一系列虚拟仿真实验课程，逐步形成覆盖“器件设计-工艺仿真-装备验证”的三位一体课程体系。依托超级视觉虚拟仿真工程实训基地，学院引入VR技术，打造沉浸式视觉与交互体验，突破传统PC端单一模式，结合14 nm Foundry工艺线场景，利用AI技术搭建全流程虚拟生产线，融合工艺线与仿真器实现器件虚拟流片与封装工艺验证，推动“教学-科研-产业”深度协同，形成集成电路领域虚实融合的工程教育新范式。
