采购公示

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    北航集成电路科学与工程学院国产科研型镀膜设备采购公告

    发布日期:2024-11-25

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    1. 采购货物有关信息

    1、采购货物相关信息:

    (1)货物名称:(2)技术指标:

    序号

    货物/服务名称

    详细参数要求

    1

    硬件和性能参数

    1. 镀Au/In/Sn等材料,设备专用避免In、Sn污染;

    2. 不少于四个沉积位置,镀膜室极限真空度优于5E-5Pa;

    3. 配备保护内罩和防污染装置,避免材料之间的相互污染;

    4. 样片尺寸:最大可放置尺寸8inch样片;

    5. 配置分子泵,对N2的抽速不小于1100L/S;

    6. 配置机械泵,对的抽速不小于35m3/h,额定转速不小于1750rpm;

    7. 配备3inch靶安装孔位;

    8. 薄膜均匀性≤±2%;

    9. 配备全量程和皮拉尼真空计;

    10. 配备膜厚监测装置,可自动实现沉积的开启和关断;

    11. 样品台可升降旋转,并且可加热至800摄氏度,预留离子源安装位置实现样品刻蚀;

    12. 配备基于PC和PLC的软件,软件框架;

    13. 控制软件集成多种设备的控制功能,可执行手动和全自动工艺流程,采用前端wpf与后端C++分离的开发方式,架构合理清晰,符合SECS/GEM标准;

    2

    售后服务

    售后服务

    1、供应商应具备完善的售后服务体系,供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。

    投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。

    2、在保质期以内,投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应,24小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理(若用户提出新的要求,在招标文件的采购设备清单中特别提出)。

    3、在保质期满后,投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务,当发生故障时,投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理,合理收取维修费。

    4、质保期2年。

    5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。

    (3)数量:

    序号

    产品

    数量/单位

    1

    国产科研型镀膜设备

    1套

    (4)交货期:合同签订后60天内

    (5)交货地点:北京航空航天大学学院路37号第一馆

    (6)是否接受进口产品:否

    2、采购预算(最高限价):95万元

    3、参选单位资格要求:

    (1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

    (2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

    ① 具有独立承担民事责任的能力;

    ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

    ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

    (3)本项目不接受联合体响应;

    (4)本项目不允许转包、分包;

    (5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

    (6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

    4、报名方式及截止时间:

    报名方式:将报名信息(公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间:2024年11月28日17时。

    5、竞价会时间及方式:

    时间:2024年11月29日;方式:采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。

    6、参加竞价会所需提供材料:

    11月28日18:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄至以下地址:

    地址:北京市海淀区北京航空航天大学北区第一馆

    常老师收,手机号:13167536270

    7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):

    常老师,邮箱:changxiaoyang@buaa.edu.cn

    8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):

    邵老师,bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)

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