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    北航集成电路科学与工程学院小型磁控溅射设备采购公告

    发布日期:2024-08-08

    点击次数:

    1. 采购货物有关信息

    1、采购货物相关信息:

    (1)货物名称:小型磁控溅射设备

    (2)技术指标:

    序号

    货物/服务名称

    详细参数要求

    1

    小型磁控溅射设备

    1.1

    设备配置

    设备配置清单:

    1. 阴极数量:2个圆形阴极;

    2. 配备机械泵;

    3. 配置直流电源实现溅射;

    4. 可调进气流量设置;

    5. 一路进气配置;

    6. PLC实现系统自动控制环境约束;

    1.2

    项目技术及质量要求

    1. 要求紧凑型设计,设备总体积小于1000mmX1300mmX1700mm

    2. 配备真空腔体,上盖可灵活打开更换样品和靶材;

    3. 配备机械泵组,可实现系统的自动抽真空,真空度优于9X10-3Pa;

    4. 配置直流电源和切换器,最高功率500W;

    5. 配置2inch圆形强磁靶枪和2inch圆形普磁靶枪各一套;

    6. 配置全量程真空计,量程范围:5X10-9-1X103mbar;

    7. 配备电动样品台,旋转速率可调;

    8. 配备流量计实现Ar气的注入,配备进气管路和排空;

    9. 所有设备由PLC实现控制,配备触摸屏和人机界面;

    2

    售后服务

    售后服务

    1、供应商应具备完善的售后服务体系,供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。

    投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。

    2、在保质期以内,投标人在接到客户的维修通知对故障能在2小时内响应,4小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理。

    3、在保质期满后,投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务,当发生故障时,投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理,合理收取维修费。

    4、质保期1年。

    (3)数量:

    序号

    产品

    数量/单位

    1

    小型磁控溅射设备

    3套

    (4)交货期:收到货款后60天内

    (5)交货地点:北京航空航天大学学院路校区

    (6)是否接受进口产品:否

    2、采购预算(最高总限价):69万

    3、参选单位资格要求:

    (1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

    (2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

    ① 具有独立承担民事责任的能力;

    ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

    ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

    (3)本项目不接受联合体响应;

    (4)本项目不允许转包、分包;

    (5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

    (6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

    4、报名方式及截止时间:

    报名方式:将报名信息(公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间:2024年 8月12日17时。

    5、竞价会时间及方式:

    时间:2024年8月13日;方式:采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。

    6、参加竞价会所需提供材料:

    8月12日18:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄至以下地址:

    地址:北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学北区快递站

    柳洋 老师收,手机号:18701363677

    7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):

    柳洋 老师收,手机号:18701363677

    8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):

    邵老师,bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)

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