发布日期：2023-11-16
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项目信息
项目名称
北航智能微纳公共创新中心5种设备机台配套工艺气体分配控制系统
申购业务号
202311160018
采购单位名称
集成电路科学与工程学院
成交信息
成 交 价
488995.5元
成交供应商
液化空气上海有限公司
采 购 清 单
序号
名 称
规格型号
数 量
1
LPCVD工艺气体分配和控制系统
/
1台
2
RPS设备工艺气体分配控制系统
3
RTP设备工艺气体分配和控制系统
4
真空互联设备设备工艺气体分配和控制系统
5
SPTS设备工艺气体分配和控制系统
公示期从2023年11月16日起至2023年11月19日止。
各供应商或者其他利害关系人对本项目的过程及结果有异议的，可在公示期内以书面形式（包括联系人、地址、联系电话）将意见反馈至北京航空航天大学集成电路科学与工程学院;
监督人：张老师，
联系方式： 010-82313693，
邮箱：gaogj@buaa.edu.cn。
