北京航空航天大学集成电路科学与工程学院分离式晶圆级高精度纳米扫描组件采购项目由集成电路科学与工程学院成立竞价小组通过竞价方式采购，现将竞价过程及结果公示如下：
1. 采购名称：分离式晶圆级高精度纳米扫描组件
2. 采购经办人：杨怀文
3. 竞价小组成员组成情况：
序号
| 姓名
| 单位
| 职称
|
1
| 杨怀文
| 集成电路科学与工程学院
| 助理研究员
|
2
| 张慧
| 集成电路科学与工程学院
| 副教授
|
3
| 高桂杰
| 集成电路科学与工程学院
| 职工
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4. 竞价结果详情：
序号
| 供应商（全称）
| 报价（万元）
| 数量
| 主要产品情况
|
品牌
| 型号
| 性能指标
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1
| 山东易测仪器有限公司
| 96.9
| 1.0
| 分离式晶圆级高精度纳米扫描组件
| 分离式晶圆级高精度纳米扫描组件
| a）210mm真空吸附全自动样品台，可程序化控制； b）扫描台移动范围 XY: 180 mm×180 mm，XY全范围运动最大高度起伏低于5 nm c）和XY位移系统分离的z向纳米移动平台 Z轴移动范围≥3 cm Z闭环噪音≤0.05 nm d）兼容高精度光学位移探测头，含自动PID硬件反馈控制系统及相关操控软件,可根据扫描结果绘制待测样品形貌 e）配备减震隔音系统 f）包含数字锁相放大器 g）配备主动式减震台
|
2
| 中科政仪（北京）科技发展有限公司
| 95.0
| 1.0
| 分离式晶圆级高精度纳米扫描组件
| 分离式晶圆级高精度纳米扫描组件
| a）210mm真空吸附全自动样品台，可程序化控制； b）扫描台移动范围 XY: 180 mm×180 mm，XY全范围运动最大高度起伏低于5 nm c）和XY位移系统分离的z向纳米移动平台 Z轴移动范围≥3 cm Z闭环噪音≤0.05 nm d）兼容高精度光学位移探测头，含自动PID硬件反馈控制系统及相关操控软件,可根据扫描结果绘制待测样品形貌 e）配备减震隔音系统 f）包含数字锁相放大器 g）配备主动式减震台
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3
| 青岛博阳鑫工贸有限公司
| 98.0
| 1.0
| 分离式晶圆级高精度纳米扫描组件
| 分离式晶圆级高精度纳米扫描组件
| a）210mm真空吸附全自动样品台，可程序化控制； b）扫描台移动范围 XY: 180 mm×180 mm，XY全范围运动最大高度起伏低于5 nm c）和XY位移系统分离的z向纳米移动平台 Z轴移动范围≥3 cm Z闭环噪音≤0.05 nm d）兼容高精度光学位移探测头，含自动PID硬件反馈控制系统及相关操控软件,可根据扫描结果绘制待测样品形貌 e）配备减震隔音系统 f）包含数字锁相放大器 g）配备主动式减震台
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确定成交结果单位：中科政仪（北京）科技发展有限公司
确定成交报价：95 万元
公示期从2022年06月07日起至2022年06月10日止。
各供应商或者其他利害关系人对本项目的过程及结果有异议的，可在公示期内以书面形式（包括联系人、地址、联系电话）将意见反馈至北京航空航天大学 集成电路科学与工程学院，监督人:梁恩和，联系电话：18810509156，邮箱：shaolin@buaa.edu.cn 。
