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    北航集成电路科学与工程学院光刻版采购公告

    发布日期:2025-05-07

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    1. (1)采购货物有关信息

    设备或材料名称/参数/数量/交货期/交货地点/是否接受进口产品

    设备或材料名称:光刻版;

    参数及数量

    光刻版参数

    掩模版投影

    掩模型号

    I-line保护膜

    CD设计线宽

    线宽精度(μm)

    线宽均值偏差(μm)

    对准偏差(μm)

    缺陷大小(μm)

    颗粒数量: 1.0~2.0μm

    平整度

    版图数量

    1:4

    6025石英

    包含

    ≥0.15

    ±0.02

    ±0.015

    ±0.03

    <0 .2

    5pcs

    1C

    2

    1:4

    6025石英

    包含

    ≥0.18

    ±0.02

    ±0.015

    ±0.03

    <0 .2

    5pcs

    1C

    1

    1:4

    6025石英

    包含

    ≥0.3

    ±0.05

    ±0.04

    ±0.07

    <0 .35

    5pcs

    1C

    1

    1:4

    6025石英

    包含

    ≥0.5

    ±0.07

    ±0.07

    ±0.1

    <0 .50

    5pcs

    1C

    1

    1:5

    6025石英

    包含

    ≥0.4

    ±0.05

    ±0.04

    ±0.07

    <0 .35

    5pcs

    1C

    3

    1:5

    6025石英

    包含

    ≥0.5

    ±0.07

    ±0.07

    ±0.1

    <0 .50

    5pcs

    2C

    9

    1:5

    6025石英

    包含

    ≥20

    ±0.2

    ±0.2

    ±0.2

    <1 .0

    NA

    2C

    11

    交货期:收到预付款后60日内

    交货地点:北京市海淀区北京航空航天大学

    是否接受进口产品:是

    (2)采购服务有关信息

    服务内容/服务时间/服务地点/服务需求/备注

    2、采购预算(最高限价):40万

    3、参选单位资格要求:

    (1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

    (2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

    ① 具有独立承担民事责任的能力;

    ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

    ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

    ④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;

    ⑤ 参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录;

    ⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。

    (3)本项目不接受联合体响应;

    (4)本项目不允许转包、分包;

    (5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

    (6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

    4、报名方式及截止时间:

    报名方式:将报名信息(公司名称、地址、法人证书扫描件、销售资质证明扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间:2025年5月9日17时。

    5、竞价会时间及方式:

    时间:2025年5月12日;方式:采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。

    6、参加竞价会所需提供材料:

    5月9日前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄至以下地址:

    地址:北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学第一馆(近新北门)

    李老师收,手机号:15066331421

    7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):

    曹老师,邮箱:kaihua.cao@buaa.edu.cn

    8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):

    邵老师,bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)

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