1. （1）采购货物有关信息
设备或材料名称/参数/数量/交货期/交货地点/是否接受进口产品
靶材与衬底的名称、参数和数量：（严格要求所有靶材满足参数要求并提供质检报告，其中金和铂需要提供第三方质检报告。）
靶材名称 |
纯度 |
厚度(mm) |
直径(mm) |
数量(块) |
铸造方式 |
铱靶(Ir) |
≥99.95% |
3 |
50.8 |
1 |
粉冶 |
钌靶(Ru) |
≥99.99% |
3 |
50.8 |
1 |
粉冶 |
镍靶(Ni) |
99.995% |
3 |
50.8 |
1 |
熔融 |
锰靶(Mn) |
99.9% |
3 |
50.8 |
1 |
熔融 |
钴靶(Co) |
99.95% |
3 |
50.8 |
1 |
熔融 |
铜靶(Cu) |
99.995% |
3 |
50.8 |
1 |
熔融 |
钽靶(Ta) |
99.99% |
3 |
50.8 |
1 |
熔融 |
钨靶(W) |
99.999% |
3 |
50.8 |
1 |
熔融 |
钛靶(Ti) |
99.995% |
3 |
50.8 |
1 |
熔融 |
坡莫合金靶 (Ni82Fe18) |
99.9% |
3 |
50.8 |
1 |
熔融 |
镁靶(Mg) |
99.99% |
3 |
50.8 |
1 |
熔融 |
氧化铝靶 (Al2O3) |
99.99% |
3 |
50.8 |
1 |
热压 |
铝靶(Al) |
99.999% |
3 |
50.8 |
1 |
熔融 |
金靶(Au) |
≥99.999% |
3 |
50.8 |
1 |
熔融 |
铂靶(Pt) |
≥99.99% |
3 |
50.8 |
2 |
熔融 |
钴铁硼靶 (Co20Fe60B20) |
99.99% |
3 |
50.8 |
2 |
熔融 |
氧化镁靶 (MgO) |
99.99% |
3 |
50.8 |
1 |
等静压 |
衬底名称 |
晶向 |
规格(mm) |
数量(个) |
其他要求 |
SrTiO3 (STO) |
(001) |
10x10x0.5 |
30 |
单抛 |
TiO2 |
(100) |
10x10x0.5 |
20 |
单抛 |
TiO2 |
(110) |
5x5x0.5 |
20 |
单抛 |
TiO2 |
(110) |
10x10x0.5 |
20 |
单抛 |
InP |
(111)A |
5x5x0.5 |
30 |
In端面终止，单抛 |
InP |
(111)A |
10x10x0.5 |
20 |
In端面终止，单抛 |
AI2O3 |
(0001) |
5x5x0.5 |
100 |
单抛 |
AI2O3 |
(0001) |
10x10x0.5 |
20 |
单抛 |
杂质占比及尺寸规格：（严格要求所有靶材满足参数要求并提供质检报告，其中金和铂需要提供第三方质检报告。）
铱靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
重量 |
137.72g |
铜杂质占比 |
≤0.0005% |
镍杂质占比 |
≤0.0005% |
铝杂质占比 |
≤0.0005% |
镁杂质占比 |
≤0.002% |
杂质总占比 |
≤0.05% |
其他要求 |
带质检报告 |
钌靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
重量 |
75.7g |
铝杂质占比 |
≤0.0005% |
铁杂质占比 |
≤0.002% |
镁杂质占比 |
≤0.0005% |
镍杂质占比 |
≤0.0005% |
杂质总占比 |
≤0.01% |
其他要求 |
带质检报告 |
镍靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.005% |
其他要求 |
带质检报告 |
锰靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.1% |
其他要求 |
绑定2mm铜背靶，带质检报告 |
钴靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.05% |
其他要求 |
带质检报告 |
铜靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.005% |
其他要求 |
带质检报告 |
钽靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.01% |
其他要求 |
带质检报告 |
钨靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.001% |
其他要求 |
带质检报告 |
钛靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.005% |
其他要求 |
带质检报告 |
坡莫合金靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.1% |
其他要求 |
带质检报告 |
镁靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.01% |
其他要求 |
带质检报告 |
氧化铝靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.01% |
其他要求 |
绑定2mm铜背靶，带质检报告 |
铝靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.001% |
其他要求 |
带质检报告 |
金靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
重量 |
115.17g |
铝杂质占比 |
≤0.02ppm |
硫杂质占比 |
≤0.1ppm |
镁杂质占比 |
≤0.02ppm |
铁杂质占比 |
≤0.2ppm |
杂质总占比 |
≤0.001% |
其他要求 |
带第三方质检报告 |
铂靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
重量 |
130.43g |
铜杂质占比 |
≤0.0006% |
铝杂质占比 |
≤0.0005% |
铁杂质占比 |
≤0.001% |
镍杂质占比 |
≤0.0005% |
杂质总占比 |
≤0.01% |
其他要求 |
带第三方质检报告 |
钴铁硼靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.01% |
其他要求 |
绑定2mm铜背靶，带质检报告 要求进口Kojundo Chemical品牌产品 |
氧化镁靶材杂质占比及尺寸规格 |
参数规格 |
直径 |
50.7~50.8mm |
厚度 |
3±0.1mm |
弯曲 |
≤0.2mm |
杂质总占比 |
≤0.01% |
其他要求 |
绑定2mm铜背靶，带质检报告 要求进口Kojundo Chemical品牌产品 |
交货期：两周
交货地点：北京航空航天大学
是否接受进口产品：钴铁硼靶和氧化镁只接受进口产品，其他靶材与衬底不接受接口产品
2、采购预算（最高限价）：47.5万元
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
⑤ 参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：按照以下要求准备报名信息发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。
邮件标题：公司名称+采购项目名称；
邮件内容：需注明公司名称，地址，销售人员全名及联系方式；
附件：法人证书扫描件，法人授权书扫描件（含法人及销售人员身份证扫描件），采购需求中列出的相应资质证明，社保证明，整理为同一个PDF文件发送。不符合要求者不予接收；
截止报名时间：2025年9月4日8时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2025年9月4日；方式：采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
9月4日8时前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章，报价单请单独密封）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学新北门
王老师收，电话：13864101617
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
彭老师，邮箱：shouzhong.peng@buaa.edu.cn
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
窗体底端
