1. 采购货物有关信息
1、采购货物相关信息：
（1）货物名称：刻蚀机、镀膜设备配套工艺气体气路分配系统
（2）技术指标：
序号 |
货物/服务名称 |
详细参数要求 |
1 |
刻蚀机、镀膜设备配套工艺气体气路分配系统 |
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硬件和性能参数 |
1. 配置双腔高精度硅和化合物刻蚀、高能量介质刻蚀机、反应离子束刻蚀机、金属刻蚀机设备、原子层沉积设备、自动装载高通量5英寸管式炉、国产科研型镀膜、氧化退火管式炉、氧化物沉积PVD系统、金属沉积PVD系统、磁性材料沉积PVD系统二次离子质谱仪（D-SIMS）等设备的特气供给系统。 2. GDE C200/508C RIE/I200PES/RIBE/ICP机台对应气路的二次配管和管道截止阀，涉及气体如下：(Ar/He/CF4/C4F8/H2/CL2AR/BCL3/NH3/N2O/SF6/SiH4/CHF3/CH4//PN2/HBr) 3. PECVD/PEALD/CVD/氧化退火炉/PVD/SIMS对应的气路的二次配管道和管道截止阀，涉及气体如下：（Ar/He/CF4/H2/O2/NH3/SiH4/CH4/PN2） 4. 配置BCL3 温控器、C4F8气路VMP、PVD设备6路VMP, 5. 特气柜铝合金托架。 6. 以上配置的系统包含管道、阀门、压力表、接口、减压阀，配置的系统需符合半导体工艺气体相应纯度要求。 7. 配置的系统需要经过第三方的五项测试安全质量检测，能够满足半导体产线用工艺气体相应标准。
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2 |
售后服务 |
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售后服务 |
1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。 投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。 2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应，24小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。 3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。 4、质保期1年。 5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。 |
（3）数量：
序号 |
产品 |
数量/单位 |
1 |
刻蚀机、镀膜设备配套工艺气体气路分配系统 |
1套 |
（4）交货期：合同签订后30天内
（5）交货地点：北京航空航天大学微电子学院
（6）是否接受进口产品：是
2、采购预算（最高限价）：40万
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间：2025年9月25日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2025年9月26日；方式：采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
9月25日18:00前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄或送至以下地址：
地址：北京市海淀区北京航空航天大学北区第一馆
常晓阳 老师收，手机号：13167536270
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
常晓阳 老师，邮箱：changxiaoyang@buaa.edu.cn
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
窗体底端
