杰出人才

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林楠
林楠 国家级领军人才、欧盟玛丽居里学者

研究方向:极紫外光源、集成电路光刻与量检测技术

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个人基本信息

林楠,北京航空航天大学蓝天杰出教授,国家级领军人才,上海市领军人才,欧盟玛丽居里学者。曾任荷兰ASML公司研发科学家、研发部光源技术负责人,连续六年获得ASML专利奖。回国后长期担任中国科学院上海光学精密机械研究所研究员、博导,超强激光科学与技术全国重点实验室副主任,精密光学工程部技术总师。长期从事集成电路制造光刻光源以及芯片量检测光源研发与工程应用研究,拥有十余年大规模集成电路制造与测量设备科研、工程项目研发和管理经验, 截止目前授权和公开国际专利120余项,多项专利已完成产品转化搭载在最新型光刻机及量检测设备中。瑞典隆德大学硕士,师从2023诺贝尔物理学奖得主Anne l'Huillier院士。巴黎萨克雷大学与法国原子能署联合培养博士。瑞士苏黎世联邦理工大学博士后。

教育经历

瑞典隆德大学硕士,师从2023诺贝尔物理学奖得主Anne l'Huillier院士。巴黎萨克雷大学与法国原子能署联合培养博士。瑞士苏黎世联邦理工大学博士后。

工作经历

2010年9月至2013年12月于法国原子能署担任玛丽居里学者,2014年2月至2015年9月于瑞士苏黎世联邦理工担任博士后,2015年10月至2021年4月于荷兰ASML公司研究部担任研发科学家,2021年5月至2025年9月于中国科学院上海光学精密机械研究所超强激光科学与技术全国重点实验室副主任担任研究员,2025年10月入职北京航空航天大学集成电路科学与工程学院教授。

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